德国HNP Mikrosysteme公司推出的mzr-2965磁力密封微量泵，属于微环形齿轮泵系列，是一款专为精密微量输送而设计的紧凑型全封闭泵。该泵直径仅22 mm、长度69 mm，重量约120 g，是尺寸小的工业级磁力密封微量泵之一。
HNPM mzr-2965磁力密封微量泵
mzr-2965微量泵的流量范围为0.03至18 ml/min，最小计量容积可达10 μl，排量容积为3 μl。最大系统压力为6 bar（含入口压力与输出压差之和），输出压差范围为0至3 bar。驱动电机采用24V直流无刷电机，功率6.4 W，集成运动控制器支持速度与位置控制。该泵适用于-15至+60℃的液体温度范围和0.3至500 mPa·s的粘度范围。泵体接液部件采用不锈钢316L、碳化钨、陶瓷等耐磨超硬材料。
1.全封闭无轴封设计
mzr-2965微量泵最核心的特性在于其磁耦合全封闭设计——泵体没有传统的动态机械轴封。驱动力通过环绕磁力驱动装置的液体分离杯，由旋转磁场从外部传递给内部转子。整个转子封闭在泵腔内部，没有贯穿泵壁的旋转轴，从物理结构上消除了轴封泄漏点。
这一设计使mzr-2965特别适用于处理结晶性、对氧气或湿气敏感的液体。在封闭的液冷回路中，它既能防止工质向外泄漏，也能阻断外界空气和湿气反向侵入系统。
2. 微环形齿轮技术带来低脉动输出
mzr-2965采用微环形齿轮泵原理，内齿外转子与外齿内转子在精密啮合过程中形成封闭腔体，容积呈线性变化。这一结构决定了其流量输出具有天然的连续性，脉动极低。不同于蠕动泵的间歇挤压或活塞泵的吸排转换，微环形齿轮泵的排量曲线近乎平直，能够在整个流量范围内保持高精度的稳定输送。
3. 集成运动控制器与灵活控制
mzr-2965集成了可编程运动控制器，支持速度控制和位置控制。控制接口包括0-10V模拟量输入、24V数字输入、RS-232串口及CANopen。用户可根据实际需求，通过外部信号实时调节泵的转速和流量，实现动态按需供液。
4. 紧凑结构与长寿命
得益于全新的产品设计以及与集成运动控制器的优化匹配，mzr-2965在如此小的体积内实现了完整的磁力密封泵送功能。泵体采用耐磨超硬材料，在正常工况下具有长使用寿命和低能耗的特性，且磁力耦合设计使泵基本免维护。
mzr-2965与AI芯片氟化液直冷应用的高度适配
AI芯片液冷散热采用R1233zd等低沸点氟化液作为冷却工质，要求泵在600 μl/min（0.6 ml/min）的超低流量下连续稳定运行。这一应用场景对输送设备提出了密封性、流动品质、抗压能力和控制精度的多重严苛要求——而mzr-2965的设计特性恰恰与这些要求高度吻合。
密封性：全封闭设计杜绝R1233zd泄漏
R1233zd常压沸点仅18℃，常温下即呈现强烈汽化倾向。传统带轴封的泵难以杜绝制冷剂蒸汽的微量渗漏。mzr-2965的全封闭无轴封设计从物理结构上消除了这一隐患——没有旋转轴伸出泵体，就没有轴封泄漏点。同时，外界湿气也无法通过轴封间隙反向侵入闭环系统，避免了水分子与氟化液接触可能引发的工质劣化。
低脉动：保障微通道液膜稳定
在600 μl/min的超低流量下，任何压力波动都会被放大。蠕动泵或活塞泵的间歇式排液会产生显著脉动，足以将冷板微通道内的冷却液膜震得支离破碎，导致换热效率骤降。mzr-2965的微环形齿轮技术提供高精度、低脉动的连续液流，确保冷却液膜始终稳定贴附于换热表面。
bar压差：从容应对两相流冲击
当R1233zd在冷板内发生局部沸腾时，汽化膨胀会产生瞬时背压冲击。mzr-2965具备0-3 bar的输出压差能力，远超该类回路常见的压力波动幅值，即使突发膨胀也能维持连续输送。
微升级精密调节：实现按需供液
mzr-2965的最小计量容积仅10 μl，流量可在0.03-18 ml/min范围内精确调节。集成运动控制器支持根据CPU/GPU实时负载信号动态调整流量，实现按需供液、能效优化。
总结
mzr-2965以其全封闭无轴封设计、微环形齿轮低脉动技术、3 bar压差输出能力以及微升级精密调节四大核心特性，与AI芯片R1233zd氟化液直冷场景中的密封、稳流、抗压、精调四重需求形成了精准对应。对于正在为AI液冷系统寻找超低流量氟化液输送方案的工程师而言，mzr-2965提供了一个在产品设计层面即已为这一工况做好准备的工程化选项。
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